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氧化鋁陶瓷

氧化鋁陶瓷具有良好的絕緣性、絕熱性和耐磨性。因價格相對便宜，且其綜合性能均衡，是應用范圍較廣泛的陶瓷材料之一。高純(99.8%及以上)氧化鋁耐腐蝕和耐等離子體刻蝕性能良好，被廣應用在泛半導體設備中。

氧化鋯陶瓷

氧化鋯陶瓷以氧化鋯為主要成分，根據添加的穩定劑，主要有釔穩定氧化鋯、鎂穩定氧化錯和鈰穩定氧化鋯。氧化鋯材料通常有較高的機械強度和斷裂韌性，都具有較好的耐腐蝕性。鎂穩定氧化鋯在較高溫度(600℃)仍保持良好力學性能。

氮化鋁陶瓷

氮化鋁陶瓷具有優于其他材質的熱傳導性和抗熱震性，也有良好的絕緣性。因液相燒結且晶界無第二相，晶體結構非常致密，有著良好的抗等離子體腐蝕能力。

氮化硅陶瓷

氮化硅在高溫(2000℃左右)下燒結成材，致密性好。與碳化硅相比，具有更好的機械強度和抗熱震性，絕緣性、耐磨性、耐腐蝕性好。

碳化硅陶瓷

碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化學腐蝕性。熱傳導率好，在高溫下性能穩定，屬于高溫結構材料。